発明協会会長賞

金属−炭化珪素質複合体及びその製造方法（特許第6595740号）

【福岡県発明協会】

後藤　大助	デンカ株式会社　大牟田工場　第三製造部 ヒートシンク課　課長
太田　寛朗	デンカ株式会社　大牟田工場　第三製造部 ヒートシンク課　技術係　係長

実 施 功 績 賞

今井　俊夫

デンカ株式会社　代表取締役社長

　本発明は、セラミックス基板やＩＣパッケージ等の半導体部品に使用されるヒートシンク等の放熱体として好適な金属―炭化珪素質複合体及びその製造方法である。
　本発明では、金属−炭化珪素質複合体について、両主面をアルミニウムまたはマグネシウムのいずれか１つ以上を主成分とする金属を含む表面層で被覆し、金属−炭化珪素質複合体内部に含まれる粒径３００μｍ以上の炭化珪素粒子を５体積％以下としたことで、面出し加工時に粗大粒子の欠落で生じる表面凹凸を低減させ、表裏金属層の厚み差を低減させることができた。
　本発明の金属―炭化珪素質複合体は、ヒートサイクル試験時の反り変化量が小さく信頼性が高いため、セラミックス基板やＩＣパッケージ等のヒートシンク等の放熱体として使用した際に熱応力の差が生じ難く、回路間クラック発生及び回路剥離の抑制が可能となった。本発明により、パワーモジュールの信頼性が向上し、鉄道車両等のモーターを使用する設備の省エネルギー化につながった。

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