【令和3年度関東地方発明表彰】
文部科学大臣賞
発明のポイントをお教えください
本発明は、今日の自動車において、「安全、快適、環境に優しい」を確保するため、きめ細やかな制御を担う圧力センサの性能向上に関するものです。
本圧力センサは、金属ダイアフラム上に薄膜を複数回重ねて形成し、製作します。その過程において、各薄膜パターンの重ね合わせで生じる僅かな位置ズレによりゼロ点出力誤差が発生し、センサ性能を低下させる問題があり、本発明ではその解決に取り組みました。
本圧力センサは、金属ダイアフラム上に薄膜を複数回重ねて形成し、製作します。その過程において、各薄膜パターンの重ね合わせで生じる僅かな位置ズレによりゼロ点出力誤差が発生し、センサ性能を低下させる問題があり、本発明ではその解決に取り組みました。
苦労した点はどこでしょうか
センサの設計時においては、圧力センサの抵抗パターンと電極パターンの位置ズレが発生した場合、センサ出力の誤差が最も少なくなる様、シミュレーションを繰り返し、各パターンの最適設計を見出すのに苦労しました。また、製品化においては、顧客の承認を得るため、量産試作検証を繰り返し、特性データの蓄積や統計処理を行い、安定した生産が出来る事の確認作業にとても苦労しました。
受賞のご感想をお願いします
この度は、栄えある賞に選出いただき、本当にありがとうございます。
薄膜パターンの僅かな位置ズレで、センサの性能が低下してしまう問題を何とか解決したいと取り組んできましたので、成果が認められ受賞できたことを非常にうれしく思います。
今日の自動車は高度なセンシング技術に支えられ、「安全」「乗り心地の良さ」「環境に優しい」を価値として提供しています。その一役を担う圧力センサの高性能化を通じて、少しでも燃費向上、環境負荷の低減に役立ち、社会に貢献できればと思っております。
薄膜パターンの僅かな位置ズレで、センサの性能が低下してしまう問題を何とか解決したいと取り組んできましたので、成果が認められ受賞できたことを非常にうれしく思います。
今日の自動車は高度なセンシング技術に支えられ、「安全」「乗り心地の良さ」「環境に優しい」を価値として提供しています。その一役を担う圧力センサの高性能化を通じて、少しでも燃費向上、環境負荷の低減に役立ち、社会に貢献できればと思っております。
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